该厂为84英寸晶圆产出线模块化的超注射用水体系，每一天呈现含硅污水150吨。污水下虽无高价属，但硅含铁高易积灰，且功率电阻率需完成18MΩ·cm方可循环。原本操作制作工艺不能具备新颁布法律的《网上企业水感染物废气环保污染物标准规范》（GB39731-2020）相当废气污染物允许值。 废水处理有效成分特质 最主要被大气污染物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、粉末硅（比表面积0.1-1μm） 独特需要 ：TOC<10μg/L，硼浓度<5μg/L 水硬度性质 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅有机物型态复杂的 解决工艺技术注意事项 的创新利用"梯级膜区分+电去阴阳离子"组合名字加工过程： 微滤预进行处理 ：1μm瓷器膜屏蔽大顆粒硅，通量能维持80LMH 亚铁离子传递硅橡胶 ：D201大孔树脂胶选泽性吸硅酸分子式 中级RO体统 ：首个段收集率60%，第二点段分为高脱硼膜电子器件 EDI电去亚铁离子 ：电流大小容重2A/m²，定期消除残留物阳离子 紫外线杀菌消毒 ：254nm分光光度计线标准容量40mJ/cm² 技術突出 研发专门阻硅剂（有机物胺类和好物），抑制膜弄脏生长期3倍 EDI版块革新流道开发，硅除去率升降至99.8% 手机在线硅数据检测仪（量测超范围0.1-500μg/L）调整识贫调整 程序运行举措 经第二方检则： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼占比从8μg/L减至0.3μg/L 操作系统回报率从原40%升级至68% 膜改换定期减少至5年，年执行费用降底35%